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半导体干式真空泵-iH高真空干泵
详细说明
我们的 iH 干泵为高难度的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品) 提供高度可靠、成本低廉的泵解决方案。iH 系列 具有五级主泵,使用创新的悬臂式转子、爪式和罗茨 设计,可改善粉尘的处理,减少排气噪音。此外,iH 系列泵配有一台单级机械增压泵和完全 封闭的水冷却电机。
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iXH干式工业级真空泵系统
备案号:
闽ICP备19019246号-1
闽公网安备 35021102001432号
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