iXH干式工业级真空泵系统

iXH 系列干泵产品是 Edwards 的市场 iH 产品的换代升级，为严苛制程能力 树立了新标准，它在世界上的许多 300mm 半导体和平板 工厂内通过提高制程可靠性实现低拥有成本。 

可满足 FPD、太阳能、 半导体和 LED 制造业中日益提高的气体流量要求的 完美大容量干泵和增压泵系列。 除了具有高峰值抽取速度外，这些泵还配备多种特性。

 

Standard_Body_Image_IXH_Dry_PumpsiXH 泵采用模块化设计，符合 当今的制程要求，并且对于前沿工厂中不断涌现的应用挑战 有着路线明确的应对计划。