清洁过程中的真空技术概述
* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-11-04 0:59:30 * 浏览: 2
真空技术中的清洁过程一般是指真空装置的结构材料，填充材料和真空部件（零件）的清洁过程。去除或减少污染物将有助于获得良好的真空度，提高连接强度和气密性，并延长产品寿命和可靠性。几种污染物的类型①油脂：在加工，安装和操作过程中被润滑剂和真空油脂污染；②水滴：在操作过程中手汗，吹玻璃时产生的唾液等；③表面氧化物：长期暴露于易氧化物质或形成的表面氧化物④酸，碱，盐类物质应放在潮湿的环境中：洗涤后的残留物，手汗，自来水中的矿物质等，⑤灰尘和空气中的其他有机物。污染的形成及其影响真空装置由许多不同的部分组成，它们都是通过各种机械加工完成的，例如车削，铣削，刨削，磨削，镗削，焊接等。这样，零件的表面将不可避免地被许多污染物弄脏，例如加工油脂，汗痕，抛光膏，焊剂，金属屑和油脂。这些污染物在真空中易挥发，会影响真空设备的极限真空。另外，污染物在大气压下吸收大量气体，并且这些气体也将在真空环境中释放，这构成了限制真空设备最终真空的因素。因此，在组装零件之前必须清除污染物。在使用真空装置期间，零件将被污染。这种污染与操作条件和真空泵有关。例如，经常使用后，真空干燥系统会被蒸发的物质污染。真空镀膜机的内壁将被蒸发材料污染，离子束蚀刻设备的内壁将被工件的溅射污染。由于高温蒸发，电子枪的灯丝将在附近的表面上形成金属膜。调节灯丝在高温下蒸发，在陶瓷绝缘子上形成薄膜，这会损害绝缘强度并影响测量精度。真空系统中的机械泵油和扩散泵油甚至是更多的污染源。设备长期运行后，设备内部会形成明显的油膜。这些污染也将影响设备的性能，应随时清除。在超高真空系统中，清洁更为重要。良好的清洁过程可以将材料的脱气率降低几个数量级。如果不锈钢长时间不经过任何处理而暴露在大气中，则抽水1h后的除气率是2.7倍，10 ^ -1Pa.L /（s.msup2，），除油后可以降低抽水4h后至1.3倍。 ，10 ^ -3Pa.L /（s.msup2，）。在250℃烘烤15h后，除气率进一步降至1.3倍，10 ^ -6Pa.L /（s.msup2，）。良好的清洁过程可以增加设备的极限真空度。另外，在各种真空工艺的生产中，例如电真空工艺，真空涂覆工艺，真空焊接工艺等，都非常重视真空卫生。在电真空过程中，必须预先仔细清洁需要组装到高真空环境中的零件，否则各种污染物会成为大量气体和蒸气的来源，这将大大延长汽车的排气时间。真空装置，很难获得高真空。对于离子管，这种意想不到的气体和蒸气源会使管中原始气体的纯度变差，因此无法获得预期的特性。其次，污染物可能会使元素本身变质，例如使阴极（特别是非金属阴极）中毒，导致电极之间泄漏以及在某些部件（例如控制网格）中产生不必要的二次发射。使用各种清洁方法彻底清除油脂，金属屑，灰尘，表面附着物以及不必要的氧化膜和石墨膜，从而可以改善电真空装置的寿命和可靠性。在真空中在镀膜技术（包括玻璃镀膜技术）中，基板（基板）表面的清洁也非常重要。暴露在大气中的基板表面通常被污染。就其物理状态而言，表面污染可以是气体，液体或固体，它们以薄膜或疏松颗粒的形式存在。就其化学性质而言，它可以处于离子或共价状态，并且可以是无机或有机的。污染源很多，初始污染通常是表面本身的一部分。吸附现象，化学反应，浸出和干燥过程，机械处理以及扩散和离析过程都会增加各种组分的表面污染物。涂覆前表面必须清洁，否则涂覆的膜将不能很好地粘附在表面上。在真空扩散焊接过程中，焊接接头的强度与表面清洁处理密切相关。据报道，在焊接接头的表面粗糙度达到12后，通过超声振荡清洗焊接部分的表面，并且可以将焊接接头的强度从70kg / msup2增加到110kg / msup2。使用各种清洁方法，例如用酒精，丙酮，四氯化碳擦洗并在真空中加热，可以提高焊接接头的强度和接头的稳定性。环境污染对真空卫生有很大影响。环境污染物来自空气，地板，墙壁，天花板，家具，衣服上的灰尘，皮棉，烟灰，头发和头皮屑。因此，电动真空装置的生产和某些特殊零部件的生产需要在洁净车间或超洁净车间中进行。在制造电子管时，必须在密闭的洁净室内进行管的安装和零件的处理。空气必须分两级或更多级进行过滤，并且相对湿度必须保持在50％以下。总之，真空卫生涉及真空系统，真空设备和真空工艺生产的各个方面，并且涉及真空设备本身的要求以及周围环境的特殊真空工艺。这是一个值得关注的问题。
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